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瑞耘董事長呂學恒表示,目前合作的設備廠共有四家,其中應材占60~65%營收比重,合作品項有蝕刻、CVD、PVD等,新加入的有中微半導體(AMEC)以蝕刻為主,ASM以擴算盤Shower Head為主,2015年也開始和Mattson合作,Mattson日前被大陸屹唐盛龍以3億美元收購。
瑞耘旗下有三大半導體關鍵零組件,包括晶圓夾持環、氣體擴散盤、陶瓷靜電吸盤,聚焦在先進制成設備蝕刻腔體的零組件耗材,其晶圓夾持環也獲得英特爾大連廠認證出貨。
近期英特爾耗資55億美元,將大連晶圓廠轉型為3D NAND 12吋晶圓廠,滿足大陸內需市場和提升芯片自制率的需求,瑞耘也打入英特爾大連12吋廠的供應鏈, 預計9月開始會大量出貨,由于晶圓夾持環是耗材且獨家供應,因此對瑞耘下半年營運挹注不小。
半導體產業發展至今,已經進入高階制程戰爭,資本投資動輒百億美元,晶圓代工廠包括臺積電、三星電子(Samsung Electronics)、英特爾等進入10納米制程競賽,并且進入7納米制程研發。
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